描述
“傳感器”作為技術(shù)概念面世之前，早期的機(jī)器、儀器中就有了“感應(yīng)器件”，如圖1中的石頭，羅盤上的指南針，水平尺中的水泡等。這些“感應(yīng)器件”只是整機(jī)中的一個零部件，并沒有專門的“傳感器”專業(yè)。直到幾十年前，伴隨著模塊化設(shè)計的興起，傳感器才從機(jī)器／儀器中分離了出來，成為了一個為整機(jī)配套的元器件專業(yè)。
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ASML SVG Catchup Coater 200mm 38522-01 new
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